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高純度化学品
半導体・太陽光ポリシリコンの製造に欠かせない化学薬品の供給を開始いたしました。
以下の製品を高純度品にて提供いたします。
シラン系
MCS, DCS, TCS, STC, HCDS, MTCS
ゲルマニウム系
GeH4, GeCL4, Ge Wafers
チタン系
TiCl4, TiO2
その他
H2SO4, PH3, NO, H2O2, H3PO4, NF3, BF3, WF6
レーザー用ガス
Neon, Krypton, Xenon
その他純ガス
Helium, Oxygen, Nitrogen, Argon, Hydrogen
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